3、线性误差

位移测量时的误差值，用相对值表示，比如量程5mm的lvdt，线性误差为0.25%，表示测量位移时的误差值5mm×0.25%=1.25um。

4、分辨率

分辨率是指传感器能够测量的变化大小。对于lvdt位移传感器，zui小分辨率zui高可达0.01um，磁尺位移传感器zui高分辩率达1um，数字输出的位移传感器的分辨率为16-bit。

传感器灵敏度，精度和分辨率的区别？指标评估的对象不同　　灵敏度评估的对象是传感器的输出和输入之间的关系。分辨率是指传感器可感受到的被测量的小变化的能力。精度用来评估传感器测量系统测量精度。表示方法不同　　灵敏度表示为输出量的增量与引起该增量的相应输入量增量之比。用s表示灵敏度。它是输出一输入特性曲线的斜率。灵敏度的量纲是输出、输入量的量纲之比。分辨率常用满量程中能使输出量产生阶跃变化的输入量中的大变化值作为衡量分辨率的指标。精度常用度来表示。